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外廊盤繞式:走廊可以有窗戶和無窗戶，可以用來觀賞和放置一些設(shè)備。有的在走廊里設(shè)置直接供暖，如果外窗是雙層密封窗。

內(nèi)廊式:將無塵區(qū)設(shè)置在外面，走廊則設(shè)在內(nèi)面。這種走廊的等級(jí)幾乎接近于無塵車間。

兩端式：無塵區(qū)位于一側(cè)，另一側(cè)設(shè)置無塵及輔助用房。

中心式：縮短管道，以無塵區(qū)為中心，上下、左右被輔助用房和遮蔽管道的空間包圍。這種方法既避免了室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響，又降低了冷熱能耗，有利于節(jié)能。

物料凈化道路應(yīng)與人工凈化道路分開。如果人和物只能在同處進(jìn)入，那么物料應(yīng)先進(jìn)行粗凈化處理，人和物料分開進(jìn)入無塵車間。

在系統(tǒng)規(guī)劃方面，物理凈化室的粗凈化和凈化階段會(huì)吹掉大量的生顆粒。為了減少操作走動(dòng)中造成的污染，工作人員應(yīng)提前更換無塵衣物，洗手、消毒、淋浴。

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